【導讀】ADI在MEMS傳感器領域實力非常強，很多性能是業(yè)內其它公司所無法企及的，如以下四款產品均在業(yè)內極具競爭力，不是尺寸最小，就是集成度最高、功耗最低或具有極高的振動抑制特性/零偏穩(wěn)定性，看完后，你會使用它們嗎？
第一款是ADI最近推出的針對助聽設計的業(yè)界最小MEMS麥克風ADMP801。與駐極體電容麥克風(ECM)等傳統解決方案相比，ADMP801不僅在尺寸上更小（僅7.3立方毫米），而且性能更穩(wěn)定，不隨時間、溫度和環(huán)境變化而改變。其等效輸入噪聲(EIN)低至27 dBA SPL（聲壓級），1 V電源下的功耗僅17 µA，是傳統ECM功耗的幾分之一。
ADMP801MEMS麥克風采用小型表貼封裝，尺寸僅3.35 mm x 2.50 mm x 0.98 mm，兼容回流焊工藝，靈敏度不會降低。
ADI公司醫(yī)療保健部門副總裁Pat O’Doherty表示：“助聽應用是MEMS麥克風可以大顯身手的領域，因為它具有小尺寸、高穩(wěn)定性和極低功耗等特性。然而，以前MEMS麥克風的EIN性能無法達到嚴格的助聽標準。ADMP801 MEMS麥克風的噪聲性能、封裝尺寸、相位和增益穩(wěn)定性完全滿足高級助聽應用要求，并集成了波束成形技術以幫助定位聲音源。”
ADMP801是一款高質量、超低功耗、模擬輸出、底部收音式全向MEMS麥克風，專門針對助聽應用而設計。它完全兼容貼片和回流工藝，允許利用機械化組裝工藝以節(jié)省成本；相比之下，ECM則要求手工組裝工藝。該器件具有出色的環(huán)境和時間穩(wěn)定性，多個ADMP801 MEMS麥克風可以配置為陣列，形成定向響應，從而幫助定位聲音源。
ADMP801全向MEMS麥克風主要特性：1）麥克風EIN：27dBA SPL，2）功耗：17µA (1V)；3）響應穩(wěn)定，不隨時間和溫度而變化；4）封裝體積：7.3立方毫米。
ADMP801目前已量產，1K訂量時，每片價格僅為10.78美元，
第二款是MEMS麥克風ADMP441，它是目前業(yè)界集成度最高的MEMS麥克風輸出。與典型的模擬輸出和數字PDM輸出的MEMS麥克風相比，ADMP441可直接提供I2S，無需音頻編碼器，即可和帶有I2S接口的DSP或微控制器對接，信噪比高達61dBA，頻率響應為60Hz-15kHz。它的目標市場：對PCB面積和成本等均有較高要求的標準音頻采集。
第三款是MEMS加速度計ADXL362，它是目前業(yè)界最低功耗的加速度計，1.8uA電流消耗@100Hz數據輸出速率，芯片待機功耗10nA。系統級低功耗設計，自主檢測運動與靜止狀態(tài)，無需處理器參與，集成1024字節(jié)FIFO，延長處理器休眠時間并準確記錄中斷前加速度變化。它的目標市場：紐扣電池供電或密封產品等對系統功耗有較高要求的應用。
第四款產品是MEMS陀螺儀ADXRS453，它采用四核差分傳感器結構，具有極高的振動抑制特性0.01°/sec/g, 出色的零偏穩(wěn)定性16°/hour，內置全溫范圍溫度補償，支持3.3V和5V供電，支持SOIC和創(chuàng)新的垂直LCC封裝以方便搭建正交系統。目標市場：在沖擊或振動等惡劣環(huán)境下的高性能平臺穩(wěn)定控制和導航。
10大常見問題與解答：（解答者：ADI MEMS FAE Neil Zhao）
Q: 加速度傳感器的測量范圍可達多少，如何針對不同的應用來選擇？
A: 目前的加速度傳感器測量范圍可以分為high g和low g兩種，high g產品的測量范圍可達幾十甚至幾百g，比如ADXL377的測量范圍為200g，ADXL001的測量范圍可達500g。low g產品的測量范圍為幾個g或者十幾個g，比如ADXL362的測量范圍就是±2g/±4g/±8g可選的。對于靜態(tài)傾角檢測等應用，1g-2g的測量范圍即可，比如量程為±1.2g的ADXL213或量程為±1.7g的ADXL203均廣泛應用于工業(yè)環(huán)境下的傾角檢測；對于人體的運動監(jiān)測，像計步器等應用，2g-4g的測量范圍即可；但如果要監(jiān)測沖擊或振動，像汽車的安全氣囊等應用，則需要上百g的測量范圍。當然，針對不同的產品設計和實際應用場景，只有在實際測量后，才能確定準確的量程需求。
Q: MEMS傳感器能承受多大的機械沖擊？
A: 一般MEMS傳感器都會在ABSOLUTE MAXIMUM RATINGS中給出這個指標，通常都在幾千甚至上萬g，比如ADXRS453可耐2000g的加速度沖擊，ADXL362可耐5000g的加速度沖擊，ADMP441可耐10, 000g的加速度沖擊。
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Q: MEMS傳感器能否在高溫條件下應用？
A: 目前，大部分MEMS傳感器最高只能支持到125°C，只有加速度計ADXL206可以做到高溫175°C，MEMS陀螺儀和麥克風還沒有能達到這個溫度等級的器件，但隨著MEMS技術的發(fā)展，會有越來越多的高溫高性能MEMS傳感器用于上天入地等高溫環(huán)境。
Q: 對于電壓輸出型的MEMS加速度計，其輸出電壓和加速度的對應關系是什么？
A: 實際輸出電壓與加速度計的零偏和靈敏度有關，假設加速度計的輸出為Vout (mV)，零偏為V0g (mV)，靈敏度為Sensitivity (mV/g)，則實際加速度為Acceleration (g) = (Vout – V0g) / Sensitivity，一般加速度計的零偏為Vs/2。
以ADXL203為例，在5V供電時，零偏為2.5V，靈敏度為1000mV/g，當X軸向上有+1g重力加速度時，X軸輸出電壓為2.5V + 1V = 3.5V，如果X軸上有-1g加速度，則對應輸出為2.5V – 1V = 1.5V。
當然在供電電源變化時，零偏和靈敏度都會發(fā)生變化，如ADXL203的供電電源為3V時，對應的典型零偏為1.5V，典型靈敏度為560mV/g。
Q: 如何設定ADXRS6xx系列陀螺儀的帶寬?
A: ADXRS6xx系列陀螺儀的帶寬可以通過一個外接電容Cout來設定，截止頻率為。除此外，推薦再接一級RC低通濾波器，以衰減陀螺儀的十幾kHz高頻諧振頻率，第二級濾波器的截止頻率可設定為第一級濾波器的5倍以上。
Q: 加速度傳感器的失調誤差是否需要校正？如果需要，如何校正？
A: 在系統應用中，失調誤差由加速度計本身的零偏誤差、焊接誤差和裝配誤差造成，如果應用關心加速度的絕對值，比如傾角測量，則需要對系統的失調誤差進行校正。如果應用只關心加速度的相對值，比如沖擊監(jiān)測，則無需對系統的失調誤差進行校正。在校正失調時，可以將待校正軸分別置于+1g和-1g方向，則失調Aoffset (g) = 0.5 x (A+1g + A-1g)。
Q: 為什么說陀螺儀的抗振動抑制特性在系統應用中是最重要的？
A: 在談到陀螺儀時，常用的一個衡量指標是零偏穩(wěn)定性: °/hr，但在實際應用場景中，系統都會受到加速度的影響，即使沒有機械振動，也有重力加速度的影響，所以工業(yè)用陀螺儀都會給出其受加速度影響的輸出: °/sec/g，以ADXRS453為例，該指標為0.01°/sec/g，其零偏穩(wěn)定性為16 °/hr。將其與其他高成本高零偏穩(wěn)定性的陀螺儀進行對比，假設某個器件X零偏穩(wěn)定性為5°/hr（戰(zhàn)術級陀螺儀），加速度響應輸出為0.1°/sec/g，假設重力加速度對該軸的影響只有10°的分量，也就是說重力加速度對該軸的影響為1g * sin10° = 0.17g，則ADXRS453與X的響應分別是0.0017°/sec和0.017°/sec，轉換成°/hr，就是6.12°/hr Vs. 61.2°/hr。由于零偏穩(wěn)定性和線性加速度的影響兩者不相關，所以可得在兩者影響下的平方根和誤差為17.13°/hr (ADXRS453) Vs. 61.4°/hr (X)。由此可見，陀螺儀抗振動抑制指標的重要性。
Q: ADXL345和ADXL350的主要區(qū)別是什么？
A: ADXL345是市場上非常流行的三軸數字輸出加速度計，ADXL350是其下一代產品。與ADXL345相比，ADXL350可以提供極好的溫漂特性，以滿足在戶外等寬溫度范圍的應用場景，不用花費大量的時間去做溫補校正，依然有穩(wěn)定的零偏輸出，且ADXL350的噪聲特性也優(yōu)于ADXL345。
Q: 為什么MEMS麥克風的信噪比非常重要？
A: 較高的信噪比可以允許麥克風檢測到更小的聲壓水平，或者說可以檢測到更遠的聲音。因為麥克風在音頻信號鏈的最前端，所以麥克風自身的噪聲會影響整個系統，一個低噪聲的麥克風可以使后續(xù)的信號鏈處理更加靈活，并提高整個系統的信噪比。
Q: MEMS產品是否提供評估板及相應的評估軟件？
A: ADI的所有MEMS產品均提供相應的評估板，可以在ADI網站www.analog.com上輸入您關心的產品型號，而后查看評估板套件部分，即可知道有什么評估方式可供選擇。以ADXL362為例，ADI提供三種評估板，分別是EVAL-ADXL362Z，EVAL-ADXL362Z-MLP和EVAL-ADXL362Z-DB。EVAL-ADXL362Z是將ADXL362焊接在一個小板子上，而后將其引腳引出，方便用戶直接連接自己系統中的處理器，進行評估使用；EVAL-ADXL362Z-MLP是由一個母板和一個子板（EVAL-ADXL362Z-S）組成，可以用來觀測和記錄ADXL362的實時輸出，各種工作模式下的功耗等，且子板上提供一個ADXL362的插座，這樣方便用一套評估系統來評估多顆器件的性能；EVAL-ADXL362Z-DB是帶SD卡存儲器和eink顯示器的低功耗評估開發(fā)系統，方便用戶在各種脫離PC的條件下，實時記錄數據以作算法分析，在算法完成后，可以通過評估板上的顯示器實時檢驗算法效果。
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